정전용량식 압력센서는 측정된 압력을 정전용량 값 변화로 변환하는 민감한 요소로 정전용량을 사용하는 압력센서의 일종이다.이러한 종류의 압력 센서는 일반적으로 커패시터의 전극으로 둥근 금속 필름 또는 금도금 필름을 사용하며 필름이 압력을 느끼고 변형되면 필름과 고정 전극 사이에 형성된 정전 용량이 변경되고 전기 신호가 될 수 있습니다. 측정 회로를 통한 전압 사이의 특정 관계를 가진 출력.
용량 성 압력 센서는 극 거리 변화 용량 성 센서에 속하며 단일 용량 성 압력 센서와 차동 용량 성 압력 센서로 나눌 수 있습니다.
단일 용량성 압력 센서는 원형 필름과 고정 전극으로 구성됩니다.필름은 압력의 작용에 따라 변형되어 커패시터의 용량을 변화시키고 감도는 필름의 면적과 압력에 대략 비례하고 필름의 장력과 필름에서 고정 전극까지의 거리에 반비례합니다. .다른 유형의 고정 전극은 오목한 구형이며 다이어프램은 주변에 고정된 인장 평면입니다.다이어프램은 플라스틱 금 도금 방법으로 만들 수 있습니다.이 유형은 저압 측정에 적합하며 과부하 용량이 높습니다.단일 용량성 압력 센서는 고압을 측정하기 위해 피스톤 이동 극이 있는 다이어프램으로 만들 수도 있습니다.이 유형은 다이어프램의 직접 압축 영역을 줄여 더 얇은 다이어프램을 사용하여 감도를 향상시킬 수 있습니다.또한 간섭 방지 기능을 향상시키기 위해 다양한 보상 및 보호 섹션과 증폭 회로가 통합되어 있습니다.이 센서는 항공기의 동적 고압 측정 및 원격 측정에 적합합니다.단일 용량성 압력 센서는 마이크 유형(즉, 마이크 유형) 및 청진기 유형으로도 제공됩니다.
차동 용량성 압력 센서의 압력 다이어프램 전극은 두 개의 고정 전극 사이에 위치하여 두 개의 커패시터를 형성합니다.압력이 가해지면 하나의 커패시터의 용량이 증가하고 다른 커패시터의 용량은 그에 따라 감소하며 측정 결과는 차동 회로에 의해 출력됩니다.고정 전극은 오목한 곡면 유리 표면에 금도금 층으로 만들어집니다.다이어프램은 과부하 시 오목한 표면에 의해 파열되지 않도록 보호됩니다.차동 정전식 압력 센서는 단일 정전식 압력 센서보다 감도가 높고 선형성이 더 좋지만 처리하기가 더 어렵고(특히 대칭을 보장하기 위해) 측정할 가스 또는 액체를 격리할 수 없으므로 적합하지 않습니다. 부식성 또는 불순물이 있는 유체에서 작업하는 경우.
게시 시간: 2023년 6월 19일